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ULVAC愛發(fā)科

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現(xiàn)貨 ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵真空泵

現(xiàn)貨 ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵真空泵
通過高溫領域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

更新時間：2024-05-29
產(chǎn)品型號：HR60
廠商性質：經(jīng)銷商
訪問量：330

立即咨詢

聯(lián)系電話：0755-22220216

產(chǎn)品詳情

現(xiàn)貨 ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵真空泵

特點

高溫區(qū)域均熱化

實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質以氣體狀態(tài)排出。

UR系列可比HR系列更加高溫化。

氦氣密封

通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。

瞬停對策

采取了1000msec以內瞬停對策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運轉狀態(tài)相關的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

CVD裝置

蝕刻裝置

灰化裝置

ALD、ALH 等

規(guī)格

型號

HR60

HR90

HR300

HR600

HR1200

使用泵

干式真空泵

HR60

HR90

HR60

HR90

機械增壓泵

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

最大
排氣速度

50Hz

m³/h
(L/min)

62(1030)

112(1860)

359(5,980)

653(10,900)

1,012(16,900)

60Hz

m³/h
(L/min)

80(1333)

126(2100)

365(6,080)

701(11,700)

1,051(17,500)

到達壓力

0.67

最大排氣壓力
（吸入圧力）

大氣壓 *1

最大排氣壓力
（吸入圧力）

1~ 大氣壓

吸氣口 (CE規(guī)格)

VG50(KF50)

VG80(KF50)

VG80(KF80)

VG100(KF100)

排氣口

KF40

質量

180

245

275

370

420

電源

三相

VAC
(Hz)

200(50/60), 220(60)

電流值

穩(wěn)定時

7.1
(at 200V)

11.2
(at 200V)

7.8
(at 200V)

12.9
(at 200V)

15.4
(at 200V)

最大值

7.3
(at 200V)

11.8
(at 200V)

8.1
(at 200V)

13.8
(at 200V)

18.9
(at 200V)

冷卻水一次圧力

MPa

0.1~0.3

冷卻水出入口壓差

MPa

>0.1

冷卻水流量

L/min

>5.0

吹掃氣

一次壓力

MPa

0.1~0.5

二次壓力

MPa

0.05~0.1

N2吹掃

軸

SLM

氣鎮(zhèn)

SLM

0~45

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