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日本ULVAC愛發(fā)科 熱陰極電離真空計 通用型AxTRAN是在離子源和離子收集器之間配置了Bessel-Box型能量過濾器的熱陰極電離真空計。由于降低了軟X射線,ESD離子等的殘留電流,實現(xiàn)了0.5×10-10 Pa的測定分辨率。
聯(lián)系電話:0755-22220216
日本ULVAC愛發(fā)科 熱陰極電離真空計 通用型
日本ULVAC愛發(fā)科 熱陰極電離真空計 通用型
特點
可以測量10-11Pa
可以減少諸如軟X射線和ESD離子之類的剩余電流
測量區(qū)域廣1×10-2~0.5×10-10Pa
標(biāo)準(zhǔn)配有壓力0~10V模擬Log輸出/每個數(shù)字內(nèi)1V線性輸出
可以輸出2個設(shè)定點
BCD/RS232C(可選)
用途
用于真空設(shè)備,如高能加速器壓力測量
用于真空設(shè)備的壓力測量
規(guī)格
模型 | ISX2 |
可測壓力范圍 | 5×10 -11至 1×10 -2 Pa (3.75×10 -13至 7.5×10 -5 Torr、5×10 -13至 1×10 -4 mbar) |
測量分辨率 | 0.5×10 -10 Pa(0.375×10 -12托,0.5×10 -12毫巴) |
顯示 | 數(shù)字顯示,3位尾數(shù),2位指數(shù) |
脫氣 | 電子激發(fā)解吸式 |
測量值輸出 | 線性輸出 0 至 10 VDC |
偽對數(shù)輸出 0 至 10V(每位 1V 線性信號) | |
設(shè)定點 | 2 分 |
工作溫度范圍 | 10 至 40°C(50 至 104°F) |
工作濕度范圍 | 15~80%(無結(jié)露) |
電源電壓 | AC85至240V |
外形尺寸 寬×深×高 | 240毫米×350毫米×99毫米 |
重量 | 5.3公斤 |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | AC100V(3P帶地線插頭)電源線、說明書 |
選項 | 傳感器:X-11 |
傳感器電纜:5、10、20m | |
BCD輸出,RS232C/485 |
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